主な業務

半導体製造装置用機構部品製造販売及び修理(オーバーホール)
液晶・太陽電池・LED製造装置用機構部品製造販売
蒸着装置機構部品製造販売

クライオポンプ修理(オーバーホール)
リペアー方式※予備ポンプをお持ちの場合に適した方式です。 修理(オーバーホール)品を弊社に送って頂き、所定の修理(オーバーホール)作業を行い検査合格後返却致します。 通常、オーバーホールの所要日数は弊社到着後20日間です(但し、状況により異なります)。
エクスチェンジ方式※緊急での修理(O/H)の場合や予備ポンプが無い場合に適しております。 御社でのポンプ交換に合わせて、弊社所有のオーバーホール済みポンプを送付致します。 ※エクスチェンジ対応可能ポンプ HELIX : Helix CT-8/OT-8/OB-8F(φ3)/RETROFAST ANELVA :CAP-80MKⅡ/CAP-120MKⅡ/CAP-121MKⅡ ※その他のポンプに付きましては、御相談下さい。