主な業務
半導体製造装置用機構部品製造販売及び修理(オーバーホール)
液晶・太陽電池・LED製造装置用機構部品製造販売
蒸着装置機構部品製造販売
クライオポンプ修理
(オーバーホール)
(オーバーホール)
アドゾーバーの 再生
オーバーホール仕様
ポンプ検査基準
ポンプ保障
サービス対応
修理(オーバーホール)に二通りの方法で対応しております。
クライオポンプ修理(オーバーホール)
リペアー方式※予備ポンプをお持ちの場合に適した方式です。
修理(オーバーホール)品を弊社に送って頂き、所定の修理(オーバーホール)作業を行い検査合格後返却致します。
通常、オーバーホールの所要日数は弊社到着後20日間です(但し、状況により異なります)。
エクスチェンジ方式※緊急での修理(O/H)の場合や予備ポンプが無い場合に適しております。
御社でのポンプ交換に合わせて、弊社所有のオーバーホール済みポンプを送付致します。
※エクスチェンジ対応可能ポンプ
HELIX : Helix CT-8/OT-8/OB-8F(φ3)/RETROFAST
ANELVA :CAP-80MKⅡ/CAP-120MKⅡ/CAP-121MKⅡ
※その他のポンプに付きましては、御相談下さい。
アドゾーバーの再生
修理
・クライオコンプレッサーで使用しているアドゾーバーを使い捨てにすることなく、低価格で再生を致します。 ・アドゾーバー内の活性炭は新品に交換します。 |
オーバーホール仕様
品名 | O/H標準 | CAT/CT | |
---|---|---|---|
1 | ディスプレッサーシール | ○ | |
2 | 1stディスプレッサー洗浄 | ○ | |
3 | 2ndディスプレッサー洗浄、畜冷剤の交換 | ○ | |
4 | ペアリング交換 | ○ | |
5 | スコッチヨークブッシング交換 | ○ | H |
6 | 各ボート部 O.Ring交換(一部必要に応じて交換) | ○ | A |
7 | チャコールアレー(チャコール交換) | ○ | H |
8 | 80Kコンディショニングアレー(洗浄) | ○ | A |
9 | 80Kラジエーションシールド(洗浄) | ○ | |
10 | アレートップ(洗浄) | ○ | |
11 | リリーフバルブフィルター(洗浄) | ○ | |
12 | O-Ring交換 | ○ | |
13 | ガスケット | ○ | |
14 | ベッセル | △ | |
15 | スコッチヨーク | △ | |
16 | ドライブモーター | △ | |
17 | センサー・ゲージ | △ | |
18 | バルブ類 | △ | |
19 | その他 | △ |
○:標準オーバーホール
△:オプション
※交換不可部品:シリンダー・モジュール・ヒーター・その他
ポンプの検査基準
検査項目 | 基準値 | |
---|---|---|
1 | 自動再生機能でのポンプ再生 | |
2 | 室温での温度表示 | +/-2K(参考値) |
3 | クールダウンタイム(OB-BF) | 100min(9600,8510)120min(8300) |
4 | 到達温度 | 1st 60K以下、2nd14K以下 |
5 | 温度コントロール | 1st 65+/-2K、2nd14K以下 |
6 | 到達真空度 | 1E-5Pa以下 |
7 | 急速再生(可能なポンプに対して) | 60min以内 |
8 | 昇温特性 | 310Kまで<30min |
9 | リークチェック | 1E-6Pa,m3/s,10E-5Pa,m3/s |
10 | リモートキーパッド接鏡での確認 | 表示、動作確認 |
検査項目 | 基準値 | |
---|---|---|
1 | クールダウンタイム | 2nd15K,<100min以内 |
2 | 到達真空度 | 1E-5Pa以下 |
3 | 安定性 | 連続15h以上の運転で確認 |
4 | リークチェック | 1E-6Pa,m3(スニファー),7E-10Pa,m3/s |
ポンプの保障
保障内容弊社の責に依る冷凍能力不具合に対し保障致します。
保証期間弊社出荷日より1年間を保証期間とします。但し、保証期間内に交換もしくは修理した場合、その保障修理に対する保障期間は残日数(1年間の残り)と致します。
除外項目
1)弊社がO/H修理した部分以外の故障及び損傷
2)クライオポンプの真空部の極度な汚染による性能劣化
3)お客様に責が有る場合
4)火災、地震等の天災地変による故障及び損傷
5)その他、保障内容外
1)弊社がO/H修理した部分以外の故障及び損傷
2)クライオポンプの真空部の極度な汚染による性能劣化
3)お客様に責が有る場合
4)火災、地震等の天災地変による故障及び損傷
5)その他、保障内容外
サービス対応
不具合発生時原因解析を必要とする場合、解析に基づいた不具合報告書を提出致します。
オプション対応1)パーシャルオーバーホール(真空室内のみ等、必要な個所のみのO/H)
2)ガス負荷テストなどの特別なテスト
3)真空保管での出荷
2)ガス負荷テストなどの特別なテスト
3)真空保管での出荷
技術サポートクライオ使用中に発生するポンプ及び真空に関する不具合、問題点などの真空に関する技術的サポートを致します。
ポンプ取外し、取付作業の請負御客様のご依頼によりエンジニアを派遣し、取付及び動作確認までの作業、アドゾーバー・コンプレッサーの交換作業も行います。